펨트론의 8800 WIR HBM[사진제공=펨트론] 반도체 검사장비 전문기업 펨트론이 국내 종합반도체 기업(IDM)에 고대역폭메모리(HBM) 검사장비 공급을 확정했다. 지난해 고객사로부터 진행한 품질테스트가 통과되며 공급을 확정한 것이다.

해당 검사장비는 HBM 공정에서 기존에는 검사하지 않았던 접합(본딩) 이후 결함을 파악할 수 있다. HBM은 수직으로 D램을 쌓아 구현하는데 해당 공정 이후 적층이 바르게 됐는지를 검사하는 것이다. 웨이퍼 절단 형태나 웨이퍼 표면의 결함이나 들뜸,조각 현상,이물,변색 등을 최종 패키징 직전에 파악 가능하다. 또 마이크로 범프 이상 여부도 확인할 수 있다. 3차원 이미지 형성이 어려운 물질에 대한 검사를 위해 특수 광학계와 최적화된 소프트웨어를 적용했다.

펨트론은 고객사의 빠른 장비 공급 요구에 맞춰 신속하게 해당 검사장비를 공급하고 향후 지속적인 기술 지원을 통해 장비의 효율적 운영을 지원할 계획이다. 펨트론 관계자는 “새 검사장비는 HBM의 수율 안정화를 위해 적용되는 세계 최초의 반도체 검사장비로서 현재는 비교 대상군이 없다”라며 “현재의 HBM 적층검사 외에도 수율과 밀접한 관계에 있는 다수의 검사 항목 검증도 완료 단계로 판단하고 있다”고 밝혔다.

펨트론은 최첨단 3D 검사 융합 솔루션 전문기업으로 △반도체 패키지 및 웨이퍼 검사장비 △SMT(표면실장 기술) 검사장비 △이차전지 검사장비(리드 탭 검사 및 제조 장비)등 주요제품을 제조,판매하는 사업을 영위하고 있다.