삼성전자의 자회사 세메스는 국내 최초로 독자 개발한 반도체 물류 자동화 핵심 장비인 'OHT(Overhead Hoist Transport)' 양산 1만호기 출하식을 열었다고 29일 밝혔다.

OHT는 반도체 라인 천장에 설치된 고정 레일을 따라 웨이퍼가 담긴 통을 각 공정 장비로 옮기는 이송 시스템이다. 그간 일본 업체에서 전량 수입해오다가 2011년 세메스가 장비를 자체 개발하면서 연간 수천억 원의 수입 대체 효과를 보고 있다.

내년 상반기에는 차세대 OHT를 선보일 예정이다. 초당 직선으로 5m,곡선에서 1m를 조용하게 먼지 없이 움직일 수 있는 것이 특징이다. 기존 대비 웨이퍼 적재 시간과 진동은 줄이고,이송 하중은 늘려 반송 효율을 30% 이상 크게 향상했다. 또한 첨단 소프트웨어 기술을 적용해 라인 내 생산 물류 흐름을 최적화한다.

OHT는 주로 반도체 자동화 설비로 이용되지만 다양한 산업 현장에서도 무인 자동화와 물류 이동 효율화 방안으로 활용할 수 있어 향후 수요 확대가 예상된다. 정태경 세메스 대표는 "OHT를 반도체 라인에 설치하려면 공정 흐름 전반에 대한 정보와 개별 설비 상태를 실시간으로 관리하며 최적의 생산 시스템이 되도록 하는 것이 핵심"이라면서 "이를 독자 기술로 확보해 1만호기까지 실적을 시현한 큰 성과"라고 말했다.

[박승주 기자]